超純水技術(shù)全力保障芯片生產(chǎn) 嚴(yán)把質(zhì)量關(guān)

　　受疫情影響，全球芯片短缺遲遲不見緩解，導(dǎo)致越來(lái)越多的供應(yīng)中斷、工廠停工，目前，芯片生產(chǎn)和供給已成為歐洲各國(guó)和美國(guó)的戰(zhàn)略重點(diǎn)。芯片在生產(chǎn)過程中需要超純水清洗。一方面，芯片在加工過程中的微污染被清除，另一方面，純水中的微雜質(zhì)可能會(huì)重新污染芯片，這無(wú)疑對(duì)產(chǎn)品有很大的影響。

　　隨著集成電路化程度的進(jìn)一步提高，對(duì)水中污染物的要求將更加嚴(yán)格。由于集成電路用純水水質(zhì)指數(shù)是由五家美國(guó)公司在20世紀(jì)60年代末提出的，每一代集成電路中的雜質(zhì)將減少1/2~1/10。傳統(tǒng)的純水處理技術(shù)也將逐步淘汰，取而代之的是環(huán)保、操作簡(jiǎn)單、成本低、運(yùn)行穩(wěn)定的新型系統(tǒng)技術(shù)。

　　芯片超純水采用雙級(jí)反滲透+EDI工藝，反滲透系統(tǒng)的功能是利用反滲透原理，主要去除水中溶解的鹽、有機(jī)物、膠體和大分子，降低水質(zhì)中的離子含量。EDI是結(jié)合離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)的純水制造技術(shù)，它不需要酸堿再生，是一種新的脫鹽方法。EDI不需要化學(xué)品再生，運(yùn)行成本低。EDI系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，可以連續(xù)工作，出水水質(zhì)良好穩(wěn)定，出水電阻率低≥ 15mΩ·cm。

　　半導(dǎo)體芯片是數(shù)字和數(shù)字化產(chǎn)品的重要組成部分。從智能手機(jī)和汽車，到醫(yī)療保健、能源、通信和工業(yè)自動(dòng)化的關(guān)鍵應(yīng)用和基礎(chǔ)設(shè)施，芯片是現(xiàn)代數(shù)字經(jīng)濟(jì)的核心。